LMG2A特征与应用
特征 最大行程4m x 4m 以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台 良好接地设计防止噪声干扰 Z向震动可达奈米等级以下 最大速度可达5m/s 标准重现精度1um或以下 位置回馈系统分辨率最低可达50nm
应用
半导体设备 自动化搬送 FPD设备 太阳能制造设备 PCB设备 水刀设备 钻石切割产业 AOI检测设备 工具机
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